法蘭接口

KF40（CF40）

工作氣壓

0.3-3Pa

等離子電源

13.56MHz射頻電源，射頻功率5-150W可調，

遠程等離子源，自動匹配器

氣體控制

標配單路質量流量計（MFC）可選雙路。50毫升/分，自動控制氣體流量，不會受環境溫度和壓力變化影響

氣源選擇

根據需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇

真空控制

美國MKS公司925-12010皮拉尼真空計，測量范圍1E-5Torr

真空保證

真空計和電磁閥安全互鎖

操控方式

7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動操作界面

電源/功率

220V，50/60Hz，300W

可選配件

可選氧氣、氮氣、氫氣發生器，?氫氣純度﹥99.999％，輸出流量0-300ml/min?

質量保證

二年質保，終身維護