勻膠旋涂儀產品特點

v?采用閉環控制伺服電機，數字式增速信號反饋，速勻準確，壽命長，保證勻膠的均一性。

v?5寸全彩觸摸屏，智能程序化可編程操控顯示，標配10個勻膠梯度階段（速度和時間梯度設置），可選配10個可編程程序，每個程序下可設置10個勻膠梯度階段，z多100個階段。

v?內置水平校準裝置，保證旋涂均勻，可對大小不同規格的基片進行旋涂。

v?多重安全保護:

??電磁安全開關，蓋子打開卡盤停止，保證安全；

??蓋子自鎖功能，防止飛片蓋彈開傷人；

??雙重安全上蓋，聚四氟嵌鑲鋼化玻璃，避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人，保證實驗人員安全。

v?樣品托盤卡口和樣品托盤之間三重密封安全保護，有效降低電機進膠的風險。

v?一機兩用，根據不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂方式。

v?符合人體功能學的水平取放樣品旋涂托盤設計，取放樣品方便。

v?不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體，旋涂腔體采用PTFE材料。旋涂托盤采用聚丙烯（NPP-H）材料，耐酸堿防腐蝕，保證儀器在苛刻條件下仍能正常運行。

v?上下雙腔體設計，較大的上腔體便于擦拭去除膠液，錐形下腔體結構設計便于收集膠液，并帶廢膠收集裝置

v?可選氮氣吹干、氮氣保護，自動滴膠或簡易滴膠裝置，提供多的操作便利性。

v?適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs，GaN，InP 等多種材料。

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勻膠旋涂儀技術參數