等離子去膠機產品特點：

u PLC工控機控制整個去膠過程，全自動進行。

u 7寸彩色觸摸屏互動操作界面，圖形化用戶操作界面顯示，自動監測工藝參數狀態，0~99個配方程序，可存儲、輸出、追溯工藝數據，機器運行、停止提示。手動、自動兩種工作模式。

u 采用石英真空倉，全真空管路系統采用316不銹鋼材質，耐腐蝕無污染。

u 采用抽拉式艙門設計，可選用石英舟，更適合晶元硅片去膠應用。

u 有效處理面積大，可處理最大直徑200mm晶元硅片。

u 采用防腐數字流量計控制，標配雙路氣體輸送系統，可選多氣路氣體輸送系統，氣體分配均勻。可輸入氧氣、氬氣、氮氣、四氟化碳、氫氣或混合氣等氣體。

u 具備HEPA高效過濾氣體返填吹掃功能。

u 處理高效均勻，效率高，工藝重復性好。

u 樣品處理溫度低，無熱損傷和熱氧化。

u 安全保護，倉門打開，自動關閉電源。

等離子去膠機技術參數