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        CIF中試型等離子清洗機CPC-12系列

          CIF推出全新一代CPC系列桌面型、可中試生產、模擬生產條件的等離子體清洗設備,幾乎具備等離子體清洗設備所有的功能。具有較大的腔體尺寸和樣品處理面積,使用成本低,性價比高,易維護,處理快速高效,特別適合于大學,科研院所和光電企業實驗室小批量中試生產。

          更新時間:2023-07-24 10:54:08
        1. 詳細信息

        產品特點:

        PLC工控機控制整個清洗過程,全自動進行。

        7寸彩色觸摸屏互動操作界面,實時工作參數狀態直觀顯示。

        手動、自動兩種工作模式。

        數字流量計控制,控制更準確

        符合人體功能學的60度傾角操作界面設計,操作方便,界面友好。

        頂置真空倉,上開蓋設計下壓式鉸鏈開關方式

        上置式360度自由水平取放樣品托盤設計,符合人體功能學,操作更方便。

        有效處理面積大,可處理8寸硅片去膠等應用。

        可處理不同幾何形狀、表面不同粗糙程度的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等樣品,進行清洗和改性。

        安全保護,倉門打開,自動關閉電源。

        技術參數:

        型號

        CPC-12

        CPC-12plus

        艙體尺寸

        H120xΦ370mm ?

        H120xΦ370mm

        艙體容積

        12.8L

        12.8L

        射頻電源

        40KHz

        13.56MHz

        匹配器

        自動匹配

        自動匹配

        射頻功率

        10-300W可調

        10-300W可調

        氣體控制

        質量流量計(MFC)(標配單路,可選雙路)

        最大處理尺寸

        Φ370mm圓盤

        產品尺寸

        L618xW520xH465mm

        包裝尺寸

        L750xW640xH570mm

        時間設定

        1-99分59秒

        真空泵

        抽速約8m3/h

        氣體穩定時間

        1分鐘

        真空度

        100pa以內

        AC220V 50-60Hz??

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