CIF生產型等離子清洗機CPC-80/120/150
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CIF推出的CPC系列生產型等離子清洗機是為研發型客戶和工業級客戶而設計的等離子體表面處理設備，配置豐富，且真空腔體里可分層，適合大多數生產場景。適用于等離子清洗，活化以及刻蝕等多種應用，設備可在嚴苛環境下穩定運行，產品穩定，樣品處理重復性一致性好。
更新時間：2023-06-27 15:05:43
產品特點：
PLC工控機控制整個清洗過程，全自動進行。
7寸彩色觸摸屏互動操作界面，實時工作參數狀態直觀顯示。
手動、自動兩種工作模式。
數字流量計控制，控制更準確。標配雙路氣體輸送系統，可選多氣路氣體輸送系統，氣體分配均勻。可輸入氧氣、氬氣、氮氣、四氟化碳、氫氣或混合氣體等氣體。
處理高效均勻，效率高，工藝重復性好。
合理的結構設計，設備占用空間小。
可處理各種材質、形狀、尺寸樣品。
樣品處理溫度低，無熱損傷和熱氧化。
使用成本低、耗損小。
產品性能穩定，安裝與維護簡便方便。
安全保護，倉門打開，自動關閉電源。
技術參數：
型號 | CPC-80 | CPC-120 | CPC-150 |
艙體尺寸 | W400xH400xD500mm | W500xH500xD450mm | W500xH500xD60mm |
艙體容積 | 80L | 120L | 150L |
有效尺寸 | W400xD450 | W500xxD400mm | W500xxD550mm |
電極分布 | 6層 | 8-10層 | 10-15層 |
射頻電源 | 13.56MHz，0-600W? | 13.56MHz，0-1000W? | 13.56MHz，0-1000W? |
匹配器 | 自動匹配器 | ||
電 流 | 1.2A | ||
時間設定 | 1-99分59秒 | ||
氣體穩定時間 | 1分鐘 | ||
真空度 | 100pa以內 | ||
激發方式 | 電容式 | ||
控制系統 | 7寸PLC觸摸屏控制 | ||
工藝氣體 | 2氣路 MFC（可選裝3路） | ||
真空泵 | 抽速約40m3/h | 抽速約60m3/h | 抽速約60m3/h |
電 源 | AC380V 50-60Hz | AC380V 50-60Hz | AC380V 50-60Hz |
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